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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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2026中国人寿百万医疗险价格表及购买方式

2026中国人寿百万医疗险价格表,中国人寿百万医疗险怎么买?

一、2026中国人寿百万医疗险价格表

1、中国人寿惠享保(免健告)百万医疗险

惠享保(免健告)百万医疗是由大品牌公司——中国人寿财险承保的。

惠享保分两个版本——精选版尊享版。尊享版对各项医疗责任的保额和报销比例都更高一些,而且还额外涵盖两项保障,因此预算够的话,建议直接选择尊享版,保障会更好。

惠享保三大亮点:

  • 投保条件宽松:最高投保年龄是80岁(支持连续投保至105岁),无健康告知,有癌症、脑梗等严重疾病,也不影响投保。而且无职业限制,5-6类等高危职业人群也能买。
  • 基础保障足:作为一款医疗险,惠享保涵盖了医保内外的住院医疗、特殊门诊医疗以及外购药保障,针对重疾住院0免赔,而且尊享版最高能按100%报销。此外,尊享版还有重疾异地转诊费用和重疾ICU住院津贴这两项额外保障。
  • 增值服务丰富:惠享保提供了重疾绿通、门诊陪诊、重疾住院垫付、重疾住院护工、在线图文问诊、国内特药服务这6大项增值服务,丰富且实用。

整体来看,惠享保投保条件宽松,保障好于惠民保,还有丰富的增值服务,很接近于市面上常规的百万医疗险。

中国人寿惠享保(免健告)百万医疗险价格表

年龄段精选版(一年保费)尊享版(一年保费)
30天-30岁166元364元
31岁-40岁412元589元
41岁-60岁780元1087元
61岁-80岁1989元2686元

2、中国人寿爱无忧医疗保险

中国人寿爱无忧医疗保险投保年龄范围广泛,最高支持80周岁投保,这款保险涵盖了多种医疗费用的保障,包括住院、特定门诊疾病治疗、特定疗法等。

中国人寿爱无忧医疗保险费率表(以当地基本医保、公费医疗身份参保)

年龄段年交保费
0-5周岁222元
6-10周岁115元
11-15周岁68元
16-20周岁73元
21-25周岁92元
26-30周岁126元
31-35周岁189元
36-40周岁265元
41-45周岁360元

二、中国人寿百万医疗险怎么买?

1. 在线购买

通过中国人寿的官方网站进行购买。在网站上,可以详细了解百万医疗保险的条款和保障范围,并选择适合自己的保险产品。

利用其他合作平台的保险频道购买,如第三方保险销售网站或APP。

2. 电话购买

直接拨打中国人寿的客服电话进行咨询和购买。客服人员会提供详细的保险信息,并协助完成购买流程。

3. 线下购买

前往中国人寿的营业网点,与保险顾问面对面咨询并购买。这种方式适用于喜欢传统购买方式或需要更详细解答的客户。

如需了解以上产品更多详细内容或者其它更多相关产品,可以点击“立即咨询”或“免费获取方案”,我们会为您安排专业的保险顾问一对一为您服务,为您选择最合适的方案,让您花最少的钱,买到属于最合适您的保障! 声明:凡本网站注明“来源:沃保网”的文章,版权均属沃保网所有,如需转载,请先阅读《内容转载授权说明》,按照相关规定获得授权。未经授权,禁止转载、摘编,如有违反,追究法律责任;资讯内容中如有提及保险产品信息仅供参考,具体请以保险公司官方正式条款为准;" alt="2026中国人寿百万医疗险价格表,中国人寿百万医疗险怎么买?">
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团期:4月14日

读者价:

(60周岁以下):5580元/人

(60周岁以上):5080元/人

报名方式:梅州日报社

1、咨询电话:13549160071   13823804287

2、现场报名:梅江区沿江路梅州日报社一楼广告部

参考航班时间

行程特色

★纯玩美景:奇境老君山+挂壁公路+郭亮村+嵩山少林寺+龙门石窟+牡丹花会+丽景门古街+开封府包公祠+清明上河园+万岁山武侠城

★特别安排:夜游《帝都洛阳》亮灯后的城门古意十足,登上城楼可看万家灯火

★舒适睡眠:全程入住网评四钻舒适型酒店

★精心策划:全程纯玩0购物,20人定制精品小包团

★独立成团:满18人派报社工作人员陪同,让您的旅行安心、省心尽情游玩

★特色美食:开封栾川山水豆腐、洛阳水席菜、灌汤小笼包、鲤鱼焙面、炒凉粉等开封小吃菜

行程速览

第一天

交通:梅州→揭阳机场→郑州机场→万岁山•大宋武侠城→入住酒店

住宿:开封网评4钻酒店

梅州指定地点统一集合出发,乘专车前往揭阳潮汕机场,乘飞机南方航空CZ6574(11:20-13:50)航班飞往【河南郑州】

抵达后赴开封参观【万岁山•大宋武侠城】,这是一座以宋文化、城墙文化和七朝文化为景观核心、以大宋武侠文化为旅游特色、以森林自然为格调、兼具休闲功能的多主题、多景观的大型实景演出。踏入万岁山武侠城,仿佛一脚迈入北宋的繁华盛景。每一处细节都诉说着千年的故事。街边酒旗迎风招展,石板路蜿蜒延伸,仿佛时光在此静止,只留下满目的古风雅韵。

晚餐在景区自由品尝特色小吃,游玩结束后入住酒店休息。

第二天

交通开封→清明上河园→包公祠

餐饮:酒店早餐︱团队餐︱团队餐

住宿:辉县网评四钻酒店

早餐后游览北宋大型民俗主题公园5A级旅游景区【清明上河园】。根据北宋画家张择端的国宝级北宋民俗画《清明上河图》以1:1的比例建造而成,观包拯迎宾、杨志卖刀、汴河大战、王员外招婿、水傀儡、女子马球、斗鸡、大宋科举、梁山好汉劫囚车、包拯巡河、气功喷火、民间咋杀等一系列北宋民俗表演,体验“一朝步入画卷、一日梦回千年”。

赠送欣赏:《沉浸式大宋奇幻游》,特别安排宋文化特色实景演出:《大宋民俗绝活》《王员外招婿》《岳飞枪挑小梁王》在这幅“百米长卷”上,它已被赋予了生命;白天,城里是徒步行走的人流,骑着骆驼的商队,小桥下潺潺的流水,吆着号子声的水手;夜晚,夜市上是忙碌的小商小贩,屋里准备歇息的夫妻,小酒馆里传出的猜拳声。

午餐品尝开封当地名小吃:灌汤小笼包子等。

参观【包公祠】。这里为纪念铁面无私包大人而修建的,威名驰誉天下,包龙图扶正祛邪、刚直不阿、美名传于古今!品味大宋文化,拜包龙图,领略人间正气!

结束后乘车付辉县(车程2小时)入住酒店休息。

第三天

交通:万仙山景区→绝壁长廊→南坪

餐饮:酒店早餐 ︱团队餐︱团队餐

住宿:焦作网评四钻酒店

餐后乘车约2个小时到达【万仙山景区】,走进万仙山,住农舍,食农家饭,闻炊烟袅袅,瞧百年老宅,看蓝天白云,听瀑鸟合鸣,走林间小道,吸太行氧吧,归返原始的韵味。

沿途游览【绝壁长廊】(1250米)郭亮洞、红岩绝壁大峡谷,欣赏风景如画的天池、参观奇特的崖上人家红石桥;体会大自然风光。参观【郭亮村】石头世界。

中餐后游览清幽山乡【南坪】观赏奇石日月星石、将军峰、黑龙潭、白龙潭、丹分沟。

结束后车赴焦作,晚餐后入住酒店休息。

特别安排:徒步穿越高悬石崖的绝壁长廊,走进原汁原味的石头村落。

第四天

交通:焦作→老君山→丽景门古街→洛阳

餐饮:酒店早餐 ︱团队餐︱团队餐

住宿:洛阳网评四钻酒店

早餐后乘车前往参观国家5A级旅游景区、世界地质公园【老君山】(参观时间约4-6小时),抵达后乘坐中灵索道开始登山。 抵达中天门之后登518级生财道或自费乘坐峰林索道,之后参观老君庙、南天门、玉皇顶、悬崖 栈道、北国石林、主峰马鬃岭、高空玻璃观景台、舍身崖、十里画屏,老君山金鼎等。观十里画屏之云海奇峰,赏老君金顶之无双圣境。

中餐后乘车赴洛阳,参观【丽景门古街】(游览时间1小时左右)走进明清古街,明媚的阳光洒在绿瓦红墙之间,那突兀横出的飞檐,那高高飘荡的商铺招牌旗号,那川流不息的行人,那一张张淡泊惬意的笑容,无一不反衬出老洛阳人的得意其乐。

特别安排:夜游《帝都洛阳》。夜幕降临,你将漫步在帝都洛阳,观赏盛唐武则天时期的天堂(外观)、明堂(外观),以及灯火璀璨的应天门(外观)夜景。

晚餐特别安排:品尝洛阳特色水席菜。

第五天

交通:洛阳→龙门石窟→洛阳牡丹花会→少林寺

餐饮:酒店早餐︱团餐︱无

住宿:郑州酒店

早餐后,乘车游览世界文化遗产、中国石刻艺术宝库【龙门石窟】(参观约2小时),龙门石窟与“敦煌莫高窟、大同云冈石窟、天水麦积山石窟”共称为中国四大石窟!龙门石窟开凿起于北魏孝文帝年间,连续大规模营造长达400余年,南北长达1公里,今存有窟龛2345个,造像10万余尊,碑刻题记2800余品。其中的卢舍那大佛,高17.14米,堪称龙门石窟造像艺术之典范的——奉先寺。

游览【洛阳牡丹园】(3月室内牡丹、4月室外牡丹为主)在千年古都洛阳,每年春暖花开之际,这座城市的大街小巷都被五彩斑斓的牡丹花所点缀,成为了一幅充满诗意的画卷。

乘车游览“千年古刹”中华武术发源地【少林寺】(游览约120分钟),观赏由少林弟子担纲,专为贵宾量身定做的精彩的【少林武术表演】(约30分钟),参观历经1400多年、现存240余座塔墓的佛教圣地【塔林】(约30分钟);

期间观赏:名扬中外的《少林小子功夫表演》。

结束后返回郑州,入住酒店休息。

第六天

交通:郑州机场→揭阳机场→梅州→返回温馨的家

餐饮:酒店早餐

住宿:温馨的家

酒店早餐后,乘车前往郑州机场乘飞机南方航空 CZ6573 08:30 时郑州起飞-10:00时抵达揭阳机场,乘专车返回梅州,结束愉快的河南之旅,返回温馨的家!

编辑:邓梓钰(实习) 叶晓洋

校对:张颖

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  央广网北京5月1日消息(记者 孙汝祥)截至2024年4月30日,科创板全部571家公司披露了2023年度主要经营业绩信息。

  数据显示,科创板公司全年合计实现营业收入13977.8亿元,同比增长4.7%,其中,超6成公司实现营业收入正增长,47家公司营业收入增幅超过50%;全年实现净利润759.6亿元。以2019年为基数,科创板公司近4年营业收入和净利润的复合增长率分别达到23.3%和24.4%,其中,92家公司营业收入和净利润复合增长率均超过30%,187家公司连续4年营业收入均实现增长,75家公司连续4年净利润均为正增长。

  2023年科创板公司毛利率水平保持高位,全年平均毛利率达到41.7%,超3成公司毛利率超过50%,59家公司毛利率较上年增加5个百分点以上。从现金流看,2023年科创板公司经营活动现金流净额合计1,395.5亿元,同比增长13.6%,显示出良好的变现能力和回款效率。

  研发投入迭创新高。科技创新是国际战略博弈的主战场,科创板公司积极发挥科技创新活动主体作用,坚持创新驱动发展,研发强度保持高位,创新要素加速汇聚。2023年,科创板公司研发投入金额合计达到1,561.2亿元,同比增长14.3%,研发投入占营业收入比例中位数为12.2%,83家公司研发强度连续三年超20%。截至2023年末,科创板已汇聚超过23万人的科研人才队伍,研发人员占员工总数的比例超过3成。

  创新成果不断涌现。得益于持续稳定的高研发投入,2023年科创板公司在科技创新方面取得了一系列新进展、新突破。截至2023年末,累计124家次公司牵头或者参与的项目获得国家科学技术奖等重大奖项,6成公司核心技术达到国际或者国内先进水平;累计形成发明专利超10万项,其中中芯国际、信科移动的专利均超过万项。龙芯中科推出新一代通用处理器龙芯3A6000,标志国产CPU在自碳化硅衬底全球第二,加速出海至国际一线器件企业。(央广资本眼)

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41.7%!2023科创板公司毛利率保持高位

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发布时间:2022-01-31 09:51 来源:豫都网 我要投稿

[摘要]数据 投篮点 实录 北京时间4月21日,NBA季后赛激战3场,其中孟菲斯灰熊主场以105-94击败圣安东尼奥马刺,将总比分扳为1-2。灰熊队此役将“黑熊”兰多夫提升进入到首发,开启了“三熊”死凿内线的进攻模式,最主要的是慢节奏+阵地战导致灰熊全场只有5次失误,...

>>数据 投篮点 实录

  北京时间4月21日,NBA季后赛激战3场,其中孟菲斯灰熊主场以105-94击败圣安东尼奥马刺,将总比分扳为1-2。灰熊队此役将“黑熊”兰多夫提升进入到首发,开启了“三熊”死凿内线的进攻模式,最主要的是慢节奏+阵地战导致灰熊全场只有5次失误,迎来了本赛季失误最少的一场比赛。

  灰熊队的最大优势自然就是内线,主帅菲兹戴尔最大的变阵就是将“黑熊”兰多夫提升进入首发阵容,这也组成了三熊齐首发的模式。

  兰多夫+小加索尔+康利,三位灰熊主将全部首发,而这套变阵在前三节收到了明显的效果,他们对于马刺队的内线冲击力非常凶。尤其是兰多夫,前三节13投8中,贡献了21分8篮板,三节没有失误。

  “三熊”三节联手砍下了全队81分中的55分。很显然,灰熊三主力的攻击力是灰熊能取得18分领先优势的关键。

  此外,菲兹戴尔还将恩尼斯提升进入了首发阵容,他也是一位身高达到了2米的球员,他的身高优势对于马刺内线也是不小的冲击。总而言之,菲兹戴尔的作战策略就是:不惜一切代价冲击马刺内线。

  慢节奏+阵地战,每次进攻几乎全部耗时20秒,这让灰熊队前三节只有2次失误,而马刺对于激烈的身体对抗非常不适应,三节出现了11次失误,而且马刺全队进攻的模式被灰熊的身体对抗冲的支离破碎,三节只有11次助攻。

  同样还有一个环节不容忽视。那就是灰熊队主帅菲兹戴尔之前因为抨击裁判判罚不公,被联盟罚款3万美元,第三场系列赛回到灰熊主场,菲兹戴尔进入场地时受到主场球迷的热烈欢呼,场边球迷不停挥舞经典的灰熊黄色毛巾。甚至孟菲斯当地一家公司公开表示,愿意替菲兹戴尔支付罚款金额。

  显而易见,菲兹戴尔充分调动了孟菲斯灰熊从场内球员、到场外球迷的全部斗志,这自然激发了队员们的斗志。

  整场比赛,灰熊队的命中率始终保持在50%以上。“三熊”全部得分超过20+,一共得到了66分。最主要的是,灰熊全队只有5次失误,这也是灰熊队本赛季单场失误最少的一场比赛。失误少,再加上50%的命中率,灰熊胜利自然水到渠成。

  (鸾台)

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乐天大酒店

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黄仁勋罕见谈生死:希望在工作中突然离世 最好当场毙命

近日,英伟达创始人、CEO黄仁勋出席一档视频播客节目,谈到了自己的工作以及生活。

节目中主持人提到:“英伟达的巨大成功让无数人的生活都依赖于你,但人固有一死,你会思考自己的终局吗,你会害怕死亡吗?”

黄仁勋罕见谈生死:希望在工作中突然离世 最好当场毙命

对此,黄仁勋表示自己真的不想死,我的生活很美好,有一个很美好的家庭,并且还有非常重要的事做。

但聊到继任者计划的话,自己的态度向来直言不讳,曾公开表示不信任继任者计划,这在业内是出了名的,但并不是因为自己永存不朽。

黄仁勋坦言,自己所希望的结果,是能在工作中突然离世,最好是当场毙命,这样就没有长时间的痛苦了。

展望10年后、甚至百年后的未来,黄仁勋表示自己对人类的能力充满信心,我们会基于正在做的事情推断未来,有太多我们想要解决的难题,例如终结疾病、减少污染等。

黄仁勋还称,我们很快会把一个专属的类人机器人发射到太空,它会在飞行中不断增强。

等时机成熟,我会将我生命的绝大部分东西(邮件箱、做过的每一件事、说过的话)积累成一个意识AI,然后以光速发射到太空,去追赶之前发射的机器人。

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圩美·磨滩:小村庄里的大变化

  党的二十大报告指出,要全面推进乡村振兴,坚持农业农村优先发展,巩固拓展脱贫攻坚成果,加快建设农业强国,扎实推动乡村产业、人才、文化、生态、组织振兴。在包河,以大圩镇磨滩村为样本,对照产业兴旺、生态宜居、生活富裕等要求,正在积极探索乡村振兴的崭新实践。

  开车沿着花园大道一路向东,昔日主打葡萄产业的农业乡镇大圩镇正迎来另一幅发展光景。虽已是小雪时节,但这里还藏着最后一抹秋色,新河湖畔林水相见、色彩斑斓,俨然一幅江南水乡意蕴。

  大圩镇磨滩村,距离主城区约16公里,三四年前还是合肥近郊的一个普通小村庄,村民们或务农或外出打工。如今,乡村、民宿、稻田、露营……众多“网红要素”齐聚,让这个默默无闻的小村庄成了一处“宝藏打卡地”。今年国庆长假期间,这里成为合肥市民近郊游的首选地,精品民宿几乎“一房难求”。

  “圩美·磨滩”是合肥市首批乡村振兴重点项目。近年来,抢抓国家实施乡村振兴战略的重大机遇,我区成立区属国企——包河区乡村振兴有限公司,利用磨滩村原有的村庄肌理和自然资源,打造集文化体验、都市农业、乡村旅游、主题度假于一体的文化生态旅游目的地。

  据悉,“圩美·磨滩”项目占地约4200余亩,总投资约15.3亿元,规划建设内容包括生态湿地、精品民宿、民俗街区、休闲农业和度假酒店。其中,精品民宿板块已基本完工,在设计理念上融入“渔、樵、耕、读、茶”等不同主题文化元素,留住乡愁文脉,让游客沉浸自然乡野。

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